氦氣檢漏儀的工作原理主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過測量離子流就可知漏率.冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置.

關鍵詞： 氦氣檢漏儀工作原